据多家媒体报道，台积电已完成1.6纳米（A16）制程的开发与验证，并计划于2026年第四季度进入量产阶段。这一进度使台积电在亚2纳米先进制程竞赛中紧追IBM之后。

报道援引自由时报（转引自韩国朝鲜日报）的消息称，台积电的1.6纳米制程采用其背面供电网络技术“Super Power Rail（SPR）”。该技术将信号布线与电源布线分离，把电源置于晶圆背面，而此前两者均位于晶圆正面。通过分离信号与电源布线，芯片在数据传输过程中的瓶颈得以减少，从而提升计算速度与能效。

与2纳米制程相比，1.6纳米制程的计算速度预计提升8%至10%，能耗降低15%至20%，芯片密度提高8%至10%。台积电方面似乎将1.6纳米视为向1.4纳米过渡的跳板。报道称，该公司的目标是到2028年开始量产1.4纳米制程。

此前，IBM展示了其亚纳米级架构，从而越过2纳米节点，但IBM估计该设计还需五年时间才能准备就绪。台积电的1.6纳米制程若按计划量产，将使台积电在先进制程竞争中保持领先地位。不过，若想赶上IBM的0.7纳米节点，台积电仍有大量工作要做。